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羅茨真空泵的工作原理
發(fā)布時間： 2025-10-17 點擊次數(shù)： 495次羅茨真空泵，又被稱為機械增壓泵，是一種容積式真空泵。它的工作原理與我們熟悉的羅茨鼓風機非常相似，但其設計和應用是針對真空環(huán)境的。
我們可以通過以下幾個核心要點來理解其工作原理：
一、核心結構
羅茨泵的核心結構相對簡單，主要包括：
1. 一對“8”字形轉(zhuǎn)子：兩個相同的葉形轉(zhuǎn)子，在泵腔內(nèi)平行安裝。它們的葉形是嚴格按數(shù)學規(guī)律設計的共軛曲線(通常是漸開線)，確保在運轉(zhuǎn)時互不接觸。
2. 同步齒輪：安裝在泵體外的一對精密齒輪。它的關鍵作用是強制驅(qū)動兩個轉(zhuǎn)子保持同步、反向旋轉(zhuǎn)，并維持它們之間以及它們與泵殼之間極小的間隙。
3. 泵殼：容納轉(zhuǎn)子和形成密閉空間的腔體。
二、工作過程(一個循環(huán)周期)
羅茨泵的工作原理可以看作是一個連續(xù)的“氣體搬運”過程，其本身并不對氣體進行壓縮。具體步驟如下：
1. 吸氣階段：
轉(zhuǎn)子由電機通過同步齒輪驅(qū)動，進行高速、反向旋轉(zhuǎn)。
當其中一個轉(zhuǎn)子的前端脫離泵腔的進氣口邊緣時，進氣口與泵腔連通。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，它們會在進氣口一側(cè)形成一個不斷增大的容積空間，從而將氣體從進氣口“捕獲”并帶入泵腔。
2. 隔離與輸送階段：
轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，將一定量的氣體隔離在兩個轉(zhuǎn)子與泵殼之間形成的封閉空間內(nèi)(這個空間被稱為“氣穴”)。
此時，進氣口和排氣口都被轉(zhuǎn)子封閉，與這個“氣穴”不相通。轉(zhuǎn)子就像一對非接觸的活塞，將氣體封閉并原封不動地向排氣口方向推送。
3. 排氣階段：
當轉(zhuǎn)子的前端旋轉(zhuǎn)到接近排氣口邊緣時，被封閉的“氣穴”開始與排氣口連通。
此時，由于前級泵(這是羅茨泵系統(tǒng)的組成部分)已經(jīng)在排氣口維持了一個較高的壓力(通常是1-100 Pa量級)，而被輸送過來的氣體壓力較低，高壓氣體會迅速“倒灌”回這個“氣穴”空間，使其壓力在瞬間與前級壓力平衡。
轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，最終將這部分已經(jīng)升壓的氣體全部推擠到排氣口，由前級泵抽走。
這個過程周而復始，實現(xiàn)了氣體從低壓側(cè)(入口)向高壓側(cè)(出口)的連續(xù)輸送。
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